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FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀

簡要描述:FR-InLine 是一款模塊化可擴展的在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀),可進行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。
FR-InLine 膜厚儀并可以依據(jù)各種不同應(yīng)用設(shè)置多個參數(shù)的實時測量,例如:反射率和透射率光譜、厚度、色座標。
FR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標準 Windws 10/11 中執(zhí)行。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1096

詳細介紹

1、簡述

FR-InLine 是一款模塊化可擴展的在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀),可進行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。

FR-InLine 在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀)并可以依據(jù)各種不同應(yīng)用設(shè)置多個參數(shù)的實時測量,例如:反射率和透射率光譜、厚度、色座標。

FR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標準 Windws 10/11 中執(zhí)行。

2、產(chǎn)品應(yīng)用

  • 透明和半透明涂層

  • 眼鏡上的涂層

  • 食品工業(yè)

  • 光學(xué)薄膜

  • 包裝

  • 粘合劑

  • 聚合物

  • 可撓式電子和顯示器

  • 其他各種工業(yè)……

(聯(lián)系我們了解您的應(yīng)用需求)

3、產(chǎn)品特征

FR-InLine 膜厚儀提供半寬(蕞多 4 通道)和全寬(蕞多 8 通道)3U 機架安裝機箱,可實時測量涂層的薄膜厚度。 FR-InLine 通過標準I/控制埠為啟動/停止/復(fù)位功能提供外部觸發(fā)選項。測量數(shù)據(jù)可立即供其他軟件使用,以進一步調(diào)整生產(chǎn)流程。工程師可以輕易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附帶多個附件,例如:

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求長度和配置的反射探頭和光纖

§光學(xué)模塊(例如聚焦透鏡、運動支架),以協(xié)助探頭安裝在產(chǎn)線上

5、其他特點

提升流程運行時間和產(chǎn)品質(zhì)量

減少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 規(guī)格(標準配置)

Model

UV/Vis

UV/NIR-EXT

VIS/NIR

NIR

NIR-N1

WLRange–nm波長

200–850

200–1020

370–1020

900–1700

850-1050

Pixels像素

3648

3648

3648

512

3648

ThicknessRange*1

3nm-80um

3nm-90um

15nm-90um

200um

1um-400um

n&k-MinThick

50nm

50nm

100nm

500nm


Thick.Accuracy*2

1nm/0.2%

1nm/0.2%

1nm/0.2%

3nm/0.4%

50nm/0.2%

Thick.Precision*3,4

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.1nm


Thick.stability*5

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.15nm


LightSource

ExternalDeuterium&Halogen,2000h

Halogen(internal)3000h(MTBF)

IntegrationTime

5msec(min)


5msec(min)


Spotsize

Diameterof350um(smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest)

MaterialDatabase


>700differentmaterials


Connectivity



USBorTCP/IP



Power


100-240V50-60Hz



FR-InLine膜厚儀測量圖示FR-InLine膜厚儀測量圖示2

注:

*1、規(guī)格如有變更,恕不另行通知

*2、與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測量結(jié)果匹配

*3、超過15天平均值的標準偏差平均值,樣品:硅晶片上1微米Si2

*4、標準偏差100次厚度測量結(jié)果,樣品:硅晶片上1微米Si2,

*5、15天內(nèi)每日平均值的2*標準差。樣品:硅片上1微米Si2。



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